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劃片機

簡要描述:v應(yīng)用方向:半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

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更新時間

2024-10-22

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283
詳細介紹

v 應(yīng)用方向:半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、陶瓷、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等

v 加工尺寸:≤φ305mm/260*260mm

v 運動方式:雙軸對向式

v X軸速度:600mm/s 直線度:1.5μm全行程

v Y軸有效行程:310mm 定位精度2μm 分辨率0.1μm

v Z軸有效行程:40mm 單步步進量0.0001mm 刀輪直徑60mm

v T軸:轉(zhuǎn)動角度范圍380

v 主軸轉(zhuǎn)速60000rpm/min


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